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产品展示/ 气体回收装置
      气体回收装置
 

●产品介绍
气体回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排除出的气体进行回收装置,通过压缩机稳压器进入气体纯化装置进行纯化处理,使气体纯度达到99.999%以上。
气体回收装置一般按照用户要求,以非标准型号提供,其处理后纯度在99.999%以上。
气体回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用,采用该系列装置是一项降低生产成本,节约能源,提高提高经济效益的有力措施。
氢气回收装置主要用于钨钼待业还原工序排出的废氢,收集废氢后进入预处理系统,经增压后由冷却器冷却,汽水分离器分离水份,然后进入纯化装置主体部分,对氢气进行精制处理,经处理后的氢气中含氧量≤5ppm,H2O≤10ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收,中压回收氢气的增压由压缩机进行,而常压回收则由罗茨风机来完成。

●工艺流程图

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